美國ALICAT 流量控制器  MC-50SCCM 質(zhì)量流量控制器

MCR–氣體質(zhì)量流量控制器

響應氣流控制，可抑制壓力波動

出色的MFC只需要做好一件事：將流速保持在設定點即可。Alicat的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器即使在壓力峰值的情況下也能迅速達到新的設定值并保持在該位置。我們將使用您的應用程序參數(shù)來自定義閥門和PID調(diào)整，以確保其提供快速穩(wěn)定的控制。

應用于：氣體混合 稀釋 標準氣體發(fā)生器流量控制

燃燒控制，火焰溫度控制，氮化爐 多用爐內(nèi)氣控制 光伏制造，多晶硅爐氣體控制等

Alicat的MCR使用幾乎無摩擦的Rolamite閥門和各種孔板樣式，以高流量進行控制，適用于  非腐蝕性氣體。

可用范圍：最大0-5000 slpm，最小0-0.5 sccm / 0-500sμlm

兼容氣體：98（MC）或130（MCS）預裝的可選氣體校準；

最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）

耐壓力：175 psig（190 psia）