美國ALICAT 流量控制器  MCQ-5SLPM-D 高壓氣體質量流量控制器

MCQ –高壓氣體質量流量控制器

高壓應用中的響應氣流控制

MCQ流量控制器可為需要更高管路壓力（160-320 psia）的應用提供標準控制器的快速控制響應。這種高壓質量流量控制器即使在出現壓力峰值時也能迅速達到新的設定值并保持在該位置。我們將使用您的應用程序參數來自定義閥門和PID調整，以確保其提供快速穩定的控制。

Alicat的MCQ系列使用小型比例閥以較低的流量進行控制，適用于  非腐蝕性氣體。

可測量程范圍0-5000SLPM 0-10SCCM

最大內部壓力（靜態）：305 psig（320 psia）

耐壓力：400 psig（415 psia）

兼容氣體：98（MC）或130（MCS）預裝的可選氣體校準