美國ALICAT 流量控制器  MCW-10SLPM-D

MCW-10SLPM 低壓降氣體質量流量控制器

自適應氣流控制，對系統的影響最小

具有低壓降的Alicat“ Whisper”系列質量流量控制器非常適用于在可用系統壓力很小的情況下控制質量和體積流量。低壓降最大程度地降低了系統影響，可在接近大氣壓的壓力下進行流量控制，并縮短了系統響應時間。我們將使用您的應用程序參數來自定義閥門和PID調節，以確保在保持低壓降的同時提供快速穩定的控制。

Alicat的MCW使用小型比例閥以較低的流量進行控制，適用于  非腐蝕性氣體。

可用范圍：最大0-1000 slpm，最小0-0.5 sccm / 0-500sμlm

最大內部壓力（靜態）：45 psig（60 psia）

耐壓力：175 psig（190 psia）

精度：±0.8% of reading and ±0.2% of full scale

高精度（可選）：±0.4% of reading and ±0.2% of full scale